電子級氫氟酸

電子級氫氟酸是氟化氫的水溶液,為無色透明液體, 在25℃時密度1.15gml(50% HF)。對金屬、玻璃、混凝土等具有強烈腐蝕性。電子級氫氟酸作為集成電路（IC）制造的關鍵性基礎化工材料之一，主要用于芯片的清洗和腐蝕，用時可與過氧化氫、氨水、硝酸、醋酸等配制使用。它的純度和潔凈度對集成電路的成品率、電性能及可靠性都有著十分重要的影響。有強烈腐蝕性，其蒸氣具有刺激性，接觸皮膚可引起嚴重燒傷且不易治愈，應先用大量水沖洗后就醫。使用時應戴好防護用具，防止吸入呼吸道。電子級氫氟酸具有品種多、用量大、技術要求高、貯存有效期短和強腐蝕性等特點。

電子級氫氟酸主要用于集成電路制造行業、液晶面板制造行業以及太陽能電池制造行業。目前國內外制備高純氫氟酸的常用提純技術有精餾、蒸餾、亞沸蒸餾、氣體吸收等技術，其基本都以工業氫氟酸和無水氫氟酸為原料，但均經過粗餾、精餾、吸收、冷凝、膜過濾、灌裝等工段。國際高純試劑等級應符合SEMI國際標準等級。